涡旋真空泵

      (1)概述

      涡旋理论的最初提出是法国人Leno Creux于1905年以可逆转的涡能膨胀机为题申请了国专利，但由于当时的加工制造水平有限，涡旋盘洞旋出型线的加工精度无法得到保证，旋机械在很长的段时间内没有被制造出来。 20世纪70年代开始，能源危机的加剧和高度数控机床的出现为润旋机械的发展带来了机遇，1973年美国Arthur D. Lttle (简际D.L)公司首次提出了涡旋氮气压缩机的研究报告，展现出涡旋压缩机所具有其他压缩无法比报的优点，从而涡旋压缩机大规模的开发和研制走上了迅速发展的道路。

      随着半导体、新材料和生物制药等行业的飞速发展，涡旋理论的不断成熟以及人们对真不境清洁无油污染的迫切要求，涡旋真空泵以其独特优点应运而生。20世纪80年代早涡旋真空泵以其密封性好，油燕气污染少的特性被Coffin Do应用在高真空系统中，7年，日本三菱电机公司首次成功开发回转型涡旋真空泵，在结构和性能上显示了绝对势。1988年，立式回转型油润滑涡旋真空泵由日本东京大学的MorishitaE研制成功，

  于式真空系与油润清真空泵的区别店F系脆内不言任何的消费和液体。因此解和冷却问题是干式满旋真空桑研究的关键。旋真空泵由  采川水冷方式进行冷却的卧式干式锅内的密封

      ushioT研制成功198年采用风冷方式进行冷却的干式锅旋真空复由SawadhT研制成功其主轴上装有两个冷却风前，分别位于两个静盘的鸡部。

      (2)工作原理与应用

      有一个或几个调旋真空泵的工作腔是山一对醒线共物的调旋盘副响合安装组成，满旋盘就是在盘面开

      个断开线螺旋槽的满旋型盘状结构体，一 个静涡旋盘与一个动满旋a相互交错组装在一起，动、静盘之间由防自转机构保证180相位差，这样组成的一对锅院 盘期构成了无油涡旋真空泵的抽气机构。静涡旋盘与动调能盘彼此之间在儿条直线(在横截面上是几个点)上接触形成儿对月牙形封闭腔，动涡旋盘在曲轴的驱动下绕静涡旋盘的涡旋体中心运动接触点沿涡旋曲面移动实现吸气、压缩与排气，在电机的带动下，曲轴每转一圈，就有组新的月牙封闭腔形成，从而实现涡旋真空系的吸气、压缩、排气循环，对被抽气体形成包容和强制输送.

      (3)类型与结构

      涡旋真空泵按两涡旋 盘运动方式的不同可分为两种类型:公转型和回转型公转型涡旋真空泵中的一个满旋盘固定不动，称为静涡旋盘，另一个涡旋盘称为动涡旋盘。电机带动曲轴旋转。曲轴推动动涡旋盘基圆圆心绕静涡旋盘基圆圆心做半径为厂(两涡旋盘之间的径向距离)的圆周运动，由防自转机构限制动涡旋盘不能自转。其中电机转速通常约为1500r/ min,此时泵的极限真空度较高，井随电机转速的变化极限真空度变化较小。回转型涡旋真空泵中两个涡旋盘都是动涡旋盘，它们同步同方向各自绕自身基圆圆心旋转相对运动仍为公转平动。两种型式的涡旋真空泵，公转型式的结构简单、零件少，回转型式的结构复杂、零件多。