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扩散泵原理及应用维修保养
发布时间:2016-04-28来源于:本站阅读次数:322
【摘要】扩散泵1性能参数通常扩散泵的性能是以极限真空、最大反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。1.极限真空如果对一般油扩散泵的结构进行改进,如减少油蒸气的返流,加分镏装置,合理分配加热功率,改进喷嘴角度设计,加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使扩散泵性能大大改善,极限真空可达到更低的压强。2.最大反压
扩散泵




1性能参数


通常扩散泵的性能是以极限真空、最大反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。


1.极限真空


如果对一般油扩散泵的结构进行改进,如减少油蒸气的返流,加分镏装置,合理分配加热功率,改进喷嘴角度设计,加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使扩散泵性能大大改善,极限真空可达到更低的压强。


2.最大反压强


最大反压强是指扩散泵所允许的前置压强最大值。如果前级泵所产生的压强高于最大反压强,则扩散泵就不能正常工作。


3.抽气速率


扩散泵的抽速可根据气体分子运动理论来推算出来。


4.设置冷阱及低温挡板的原因


由于扩散泵喷嘴喷出来的油蒸气分子,大部分由泵壁冷凝,这是因为泵壁外设置冷却水套或冷却管道的缘故。但是有少部分蒸气分子被泵壁反射,散射会返回被抽空间,这种现象在低温实验室中要特别注意。


如在扩散泵和被抽容器之前加上冷阱或低温挡板,这样就能使返加的蒸气被冷凝下来,截止了油蒸气的返流。


2应用范围


扩散泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似,它们都是利用高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的,所以扩散泵具有和水蒸汽喷射泵相似的特点。


不同点主要在于扩散泵工作在高真空区域,其工作压强范围为10-2~10-6pa。扩散泵广泛用于电子、化工、冶金、机械、石油及原子能等工业部门中。


3影响因素


  • 油扩散泵的返流。


  • 气体分子的反扩散。


  • 扩散泵油的裂化分解,一般扩散泵对其工作油的要求是饱和蒸气压以内(室温下0.00000001Pa左右),受热稳定性好,不易被氧化,分子量大的高沸点的液体,如硅油是扩散泵中比较理想的工作油。


  • 泵清洗不干净,污染物质留在泵内并重复循环,影响其真空度。


扩散泵是一种次级泵,它需要机械泵,目前,扩散泵是最广泛、最主要的获得高真空的工具之一 。作为前级泵。高真空扩散泵主要由泵体、冷却帽、喷嘴、蒸气导流管、加热器和冷却器等组成。



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