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分子泵原理及应用维修保养
发布时间:2016-04-28来源于:本站阅读次数:204
【摘要】分子泵分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。由于简式牵引泵型线沟槽开在转子圆柱外表面或泵体内表面上,因此可以充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递,提高泵的抽气效果。由于涡轮级有较大的抽气面积,抽速很大,而牵引
分子泵




分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。由于简式牵引泵型线沟槽开在转子圆柱外表面或泵体内表面上,因此可以充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递,提高泵的抽气效果。


由于涡轮级有较大的抽气面积,抽速很大,而牵引级沟槽抽气面积较小,在两种结构的联接处,由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变,使气体分子的运动在联接处由有序变成无序,至使返流增加,抽气能力下降。


1工作条件


  • 转子转速达到20000r/min,故分子泵启动时间较长。


  • 气体处于分子流状态,故需要配备前级泵,一般使用旋片泵作为前级泵。


2特点


  • 油润滑分子泵:润滑油量小,且在前级真空段,对真空室污染小。


  • 脂润滑分子泵:油脂量极小,前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。


  • 全磁悬浮分子泵:无须润滑,与干泵一起使用,可获得无油的清洁真空环境。


3其他常见应用


  • 分析(质谱分析、电子显微镜等)


  • 半导体(电子组件、集成电路、柔性太阳能电池等)


  • 光学/玻璃(热保护,增透、反射、光学滤光膜)


  • 镀膜(表面保护,装饰涂料,显示器,屏幕)


  • 真空冶金(真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空合金、)


  • 泄漏检测(真空系统、车辆的油箱,安全气囊


  • 研究实验(医学核磁共振成像、核粒子物理,核聚变研究,激光应用和许多更多)


  • 灯生产行业及相关


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